微機電系統(tǒng)工程專業(yè)課程有微機電工程材料、微機電器件與系統(tǒng)、微機械學(xué)、微納米測量與測試技術(shù)、微細加工技術(shù)、現(xiàn)代傳感技術(shù)、精密工程制造基礎(chǔ)和光存儲技術(shù)等。